4 - 叔丁氧基苯乙烯（CAS：95418-58-9，PTBS、对叔丁氧基苯乙烯）

基础理化性质

本品常温为无色透明液体。25℃密度 0.936g/mL，折光率 1.524，熔点 - 38℃；常压沸点 256.8℃，72～73℃（0.1mmHg 减压），闭杯闪点 97℃；不溶于水，可溶于甲苯、PGMEA、二氯甲烷、乙酸乙酯等有机溶剂。属于带酸解保护基的苯乙烯单体，乙烯基可自由基聚合；叔丁氧基为酸敏感保护基团，曝光后在酸催化下脱保护，释放酚羟基，树脂极性、溶解性发生突变；商品一般添加阻聚剂（常用 200ppm 对叔丁基邻苯二酚），强光、高温、强酸环境下易提前聚合。市面主流 98%、99% 光刻级，管控 GC 纯度、水分、金属离子、阻聚剂含量。

制备方法

主流路线：对羟基苯乙烯与叔丁基化试剂在缚酸体系下醚化；也可通过对叔丁氧基苯甲醛 Wittig 反应制备。粗品水洗脱盐、减压精馏；半导体光刻品级严格控制金属离子、酚原料残留。

主要应用

DUV 化学放大光刻胶核心单体（KrF 光刻胶主力），光刻胶树脂合成原料，曝光后脱叔丁基实现溶解度切换，图形分辨率好、线边缘粗糙度优异；也用于功能高分子、响应型聚合物、分离膜、酚羟基功能树脂的前驱单体。