光产酸剂 IV CAS：133710-62-0

别名：PAG-IV、硫鎓盐类光致产酸剂，属于芳基锍鎓三氟甲磺酸盐体系光刻配套光产酸剂，分子量：311.23

✅ 理化性质

• 外观：白色至浅米黄色结晶粉末
• 热分解温度：165–180 ℃
• 溶解性：几乎不溶于水；可溶于 PGMEA、PGME、DCM、环戊酮等光刻常用溶剂；难溶于烷烃
• 特性：阳离子型硫鎓盐光产酸剂；曝光后分解释放三氟甲磺酸（TfOH， 酸）；适合 i 线、g 线光刻体系；酸强度高、扩散可控；暗反应稳定性良好；光敏效率高；是正型光刻胶、化学增幅光刻胶常用 PAG；对湿气有一定敏感度

✅ 制备方法

芳基硫醚烷基化得到锍鎓卤盐，再和三氟甲磺酸盐进行阴离子交换，重结晶提纯得到高纯品。

✅ 主要应用

• 半导体光刻胶：g/i 线化学增幅正胶，PCB 干膜、LCD 彩膜、光阻、微加工光刻材料
• 阳离子光固化体系：环氧、乙烯基醚树脂 UV 固化，光引发产酸催化开环聚合
• 光学材料、光刻成像、微纳加工、感光涂层

备注：光刻用光致产酸剂，不是农药、医药原药

✅ 储存安全

• GHS：H315、H319、H335，刺激皮肤、眼睛；分解产生强酸性酸雾，具有腐蚀性
• 储存：密封避光冷藏存放；远离强光、热源、强碱、胺类；避免提前分解释酸
• 操作：通风橱作业，防尘口罩、护面屏、耐酸碱手套，避光操作
• 应急：沾染大量清水冲洗；酸雾吸入移至新鲜空气处